三坐標測量機是指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器。為了使三坐標能夠測出準確的結果，應將環境溫度嚴格地控制在坐標機說明書要求的范圍內。測量過程完成后，測量結果的分析與評定，主要是誤差來源分析，是高精度產品檢驗的一項要求，直接影響產品評定。它是測量可靠性的表達，定量的計算描述就是測量不確定度。測量不確定度的影響因素主要有以下幾個方面：
①方法誤差。主要指測量方法不完善引起的誤差，如采點個數及位置的選擇，基準的選擇與測量，工件安裝是否合理等等。測量方法的選擇要建立在對圖紙與零件裝配、功用等的透徹分析基礎上，對于不明確的地方，可以由有經驗人員來把握。
②設備誤差。指由測量設備本身存在的誤差而引起的測量誤差，一般用測量機的示值誤差或不確定度來表示，它與機器的使用工況有關，因此，日常維護保養及定期的精度補償至關重要，另外，測頭部分也是此類誤差的重要來源，如測座不同角度旋轉定位時產生的誤差等。誤差補償技術是修正測量設備誤差的重要方法，科研工作者也進行了深入的研究，是未來提高測量精度的主要發展趨勢。
③人員誤差。指測量人員受到自身能力限制，而在測量時引入的誤差，如手動采點時由于測量速度、方向、力度的差異而產生的誤差。測量人員在工作過程中盡量使各種測量影響因素趨于一致、降低到最小，如相同的測量力、測量速度均勻過渡等，并盡量使用自動測量模式，這些在一定程度上可以減小人員誤差。
④環境誤差。指由于環境因素與測量設備規定的標準狀態不一致而引起的誤差。如溫度、濕度、氣壓、振動、灰塵等，其中以溫度對測量精度的影響最大。工作時的溫度要求是20+/-2℃
