高精度三坐標測量儀是一種可以三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器。
三坐標測量儀的基本原理是將被測零件放入它允許的六面立體測量空間范圍內，準確地測出被測零件表面的點在空間三個坐標位置的數值，將這些點的坐標數值經過計算機處理，擬合形成測量元素，如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等，經過數學計算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數據。
在使用高精度三坐標測量儀的過程中，可能有些量友會發現，測量結果是有一定誤差的。那么，怎樣可以減小這些誤差呢？您是不是也有這樣的疑問？如果是的話，就接著往下看吧！
減小三坐標測量儀測量誤差的主要方法：
1、選擇短的三坐標測量儀測針，這是減小測量誤差的一個比較常見的方法。雖然說長的測針可能操作起來比短測針方便，但是其在測量結果方面遠不及短測針。
2、減少接頭和加長桿，對于減小測量誤差來說，這不失為一個好辦法。
3、高精度三坐標測量儀的測針測球直徑要盡量大，對于三坐標測量儀來說，測球是比較重要的一個部件，其對于測量結果是有著直接影響的。
4、選擇合適的測針，測針對于三坐標測量儀的測量至關重要，不能因為怕麻煩或者是價格因素就不選擇合適的測針，否則，會使得測量結果大打折扣。
5、保證使用方法正確，如果使用高精度三坐標測量儀的方法不正確，那么，對于測量結果來說也是有著直接影響的。在操作測量機的時候，我們應該嚴格按照要求來進行操作。除此之外，還應該保證工作臺的清潔和被測物件表面的清潔，這也是至關重要的。
